Резиновые смеси для полупроводниковой промышленности

Главная
Применение
Полупроводниковая промышленность

Полупроводниковая промышленность

Резиновые смеси и резинотехнические изделия

Резиновые и эластомерные материалы для полупроводниковой промышленности

Мы специализируемся на поставках высокопроизводительных резиновых и эластомерных материалов, специально разработанных для полупроводниковой промышленности. Наши резиновые смеси разработаны для удовлетворения строгих требований производства полупроводников, обеспечивая надежность и точность в критических компонентах. Фторэластомерные и перфторэластомерные уплотнительные материалы широко используются в различных областях для повышения долговечности, химической стойкости и производительности в сложных условиях:

Перфторэластомерные (FFKM) уплотнительные материалы широко используются в полупроводниковой промышленности, особенно в плазменной обработке, химическом осаждении из паровой фазы (CVD) и термической или влажной обработке. Эти материалы необходимы для травления, HDPCVD (высокоплотная плазменная CVD), PECVD (плазменно-усиленная CVD), LPCVD (низкодавленная CVD) и RTP (быстрая термическая обработка), где поддержание стабильной среды имеет решающее значение. Уплотнительные кольца и уплотнительные элементы FFKM обеспечивают отличную устойчивость к фторированным и хлорированным газам, гарантируя длительную прочность в экстремальных условиях.
Выдерживая температуру 300 °C или выше и сохраняя производительность в условиях сверхвысокого вакуума (10⁻⁹ Па), эти уплотнения помогают поддерживать целостность процесса в окнах конечных точек, уплотнениях колпаков и других критических областях производства полупроводников.
Уплотнения камер используются для стабилизации температуры, давления и влажности внутри технологических камер. Предотвращая загрязнение и поддерживая постоянство окружающей среды, эти уплотнения способствуют точности и контролю качества при изготовлении полупроводниковых чипов. Фторэластомерные и перфторэластомерные материалы обеспечивают надежность, необходимую для этих сложных применений.

Рекомендуемые резиновые смеси для полупроводниковой промышленности

Уплотнительное кольцо FFKM

Уплотнительные кольца FFKM разработаны для использования в химически агрессивных и высокотемпературных средах, благодаря выдерживанию длительного воздействия без ухудшений. Они имеют более высокую устойчивость к химикатам, чем стандартные фторэластомеры. В отличие от обычных эластомеров, которые разрушаются при воздействии эфиров, аминов, кетонов, окислителей, топлива, кислот и оснований, FFKM сохраняет свою герметичность и механическую стабильность, обеспечивая долгосрочную производительность в экстремальных условиях.

Применение в полупроводниковой промышленности

Затворы / Задвижки

Как мы можем помочь вам?

Контакты

Решения для вашей отрасли

Узнайте о надежных решениях для промышленного применения

Мы предлагаем специальные резиновые решения для широкого спектра отраслей, включая автомобилестроение, производство полупроводников, нефтегазовую, аэрокосмическую и носимые технологии. Каждый сектор ставит уникальные задачи: от стойкости к высоким температурам и химическому воздействию до точной герметизации и механической прочности.

Узнать все способы применения

Резиновые смеси и резинотехнические изделия Умные носимые устройства

Резиновые смеси и резинотехнические изделия Полупроводниковая промышленность

Резиновые смеси и резинотехнические изделия Аэрокосмическая промышленность

Резиновые смеси и резинотехнические изделия Автомобильная промышленность

Резиновые смеси и резинотехнические изделия Нефтехимическая промышленность